Exploring the benefits of depositing hard TiN thin films by non-reactive magnetron sputtering

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标题	Exploring the benefits of depositing hard TiN thin films by non-reactive magnetron sputtering
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.01.098
DOI	10.1016/j.apsusc.2013.01.098 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：D. Martínez-Martínez; C. López-Cartes; A. Fernández; J.C. Sánchez-López 出版日期：2013-06-01
求助人	想看雪的人在 2026-10-29 19:47:15 发布自福建，悬赏 10 积分
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