Effect of O2 gas partial pressure on structures and dielectric characteristics of rf sputtered ZrO2 thin films

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标题	Effect of O2 gas partial pressure on structures and dielectric characteristics of rf sputtered ZrO2 thin films
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2007.04.054
DOI	10.1016/j.apsusc.2007.04.054 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：C.Y. Ma; F. Lapostolle; P. Briois; Q.Y. Zhang 出版日期：2007-08-01
求助人	小刘在 2026-10-29 15:48:12 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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