| 标题 |
Requirement of in-field illumination control for low k1 imaging below 0.3 |
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10.1117/12.599532
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| 其它 |
期刊:SPIE Advanced Lithography 作者:C. Hwang; Jangho Shin; Suk-joo Lee; Sang-gyun Woo; Han-ku Cho; et al 出版日期:2005-05-12 |
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(2025-6-4)