Hysteresis compensation and decoupling control of a parallel XYΘ nanopositioning system in linear and angular coupled positioning

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标题	Hysteresis compensation and decoupling control of a parallel XYΘ nanopositioning system in linear and angular coupled positioning
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.ymssp.2025.112794
DOI	10.1016/j.ymssp.2025.112794 doi
其它	期刊：Mechanical Systems and Signal Processing 作者：Yanding Qin; Jie Yuan; Haitao Wu; Bijan Shirinzadeh; Jianda Han 出版日期：2025-07-01
求助人	ww 在 2026-10-13 19:55:33 发布自吉林，悬赏 10 积分
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