Three-dimensional absorber correction for EUV mask defect compensation

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标题	Three-dimensional absorber correction for EUV mask defect compensation
网址	https://doi.org/10.1364/oe.587781
DOI	10.1364/oe.587781 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Hanzhi Zhang; Sikun Li; Xiaowei Song; Jingquan Lin 出版日期：2026-04-16
求助人	风中的又菱在 2026-08-25 17:59:16 发布自吉林，悬赏 10 积分
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