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Interface formation and reactions at Ta–Si and Ta–SiO2 interfaces studied by XPS and ARXPS
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.elspec.2004.02.060
DOI
10.1016/j.elspec.2004.02.060 doi
其它 期刊：Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
作者：M Zier; S Oswald; R Reiche; M Kozlowska; K Wetzig
出版日期：2004-07-01
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