SiO 2 film thickness metrology by x-ray photoelectron spectroscopy

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标题	SiO 2 film thickness metrology by x-ray photoelectron spectroscopy
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/71/19/2764/18530305...
DOI	10.1063/1.120438 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Z. H. Lu; J. P. McCaffrey; B. Brar; G. D. Wilk; R. M. Wallace; et al 出版日期：2002-07-26
求助人	健忘语风在 2026-08-19 15:25:57 发布自浙江，悬赏 10 积分
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