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标题
Growth dynamics of nanocolumnar thin films deposited by magnetron sputtering at oblique angles
斜角磁控溅射纳米柱状薄膜的生长动力学
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材料科学 放松(心理学) 纳米结构 薄膜 溅射沉积 沉积(地质) 溅射 动能 斜格 腔磁控管 纳米技术 化学物理 物理 地质学 沉积物 哲学 古生物学 社会心理学 量子力学 语言学 心理学
网址
DOI
10.1088/1361-6528/ad113d doi
其它 期刊:Nanotechnology
作者:Rafael Álvarez; Aurelio García‐Valenzuela; Guillermo Fernando Regodón; F. J. Ferrer; Víctor Rico; et al
出版日期:2023-11-30
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