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 Study of Y2O3 Thin Film Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 等离子体增强原子层沉积法制备Y2O3薄膜的研究
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期刊：ECS transactions 作者：Gu Young Cho; Seungtak Noh; Yoon Ho Lee; Sanghoon Ji; Suk Won 出版日期：2014-08-13 |
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