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标题
Advances in Silicon Carbides and Their MEMS Pressure Sensors for High Temperature and Pressure Applications
高温高压用碳化硅及其MEMS压力传感器的研究进展
相关领域
材料科学 微电子机械系统 碳化硅 高压 压力传感器 硅 碳化物 工程物理 纳米技术 光电子学 冶金 机械工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.5c03045
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsami.5c03045 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Rui‐Xin Wu; Hui Chen; Yichen Zhou; Yihao Guo; Zhangbin Ji; et al
出版日期：2025-04-26
求助人
111 在 2025-06-10 14:04:02 发布自湖南，悬赏 10 积分
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