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  Direct evidence of multiple vibrational excitation for the Si–H/D bond breaking in metal–oxide–semiconductor transistors 金属氧化物半导体晶体管Si-H/D键断裂多重振动激励的直接证据
相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Zhi Chen; Pangling Ong; Alicia Kay Mylin; Vijay P. Singh; S. Chetlur 出版日期：2002-10-17 |
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