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 ICP argon discharge simulation: The role of ion inertia and additional RF bias ICP氩放电模拟：离子惯性和附加射频偏置的作用
相关领域
原子物理学
物理
氩
等离子体
离子
偏压
等离子体参数
惯性
电压
经典力学
量子力学
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期刊：Physics of Plasmas 作者：A. N. Kropotkin; Dmitry Voloshin 出版日期：2020-05-01 |
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