ICP argon discharge simulation: The role of ion inertia and additional RF bias

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标题	ICP argon discharge simulation: The role of ion inertia and additional RF bias ICP氩放电模拟：离子惯性和附加射频偏置的作用相关领域原子物理学物理氩等离子体离子偏压等离子体参数惯性电压经典力学量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0003735
DOI	10.1063/5.0003735 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：A. N. Kropotkin; Dmitry Voloshin 出版日期：2020-05-01
求助人	含糊的雨安在 2025-07-14 16:48:37 发布自中国，悬赏 10 积分
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