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Characteristics of polyimide film deposited by ionized cluster beam
离子簇束沉积聚酰亚胺薄膜的特性
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聚酰亚胺 加速电压 材料科学 电离 分析化学（期刊） 均苯四甲酸二酐 电导率 离子 离子束 绝缘体（电） 杂质 电子 原子物理学 阴极射线 光电子学 化学 纳米技术 色谱法 有机化学 物理化学 物理 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)95658-8
DOI
10.1016/0168-583x(94)95658-8 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms
作者：Yong Sang Lee; K.W. Kim; Sunghoon Choi; Chae-Seon Hong; I. S. Choi; et al
出版日期：1994-10-01
求助人
CQ 在 2025-06-08 18:07:23 发布自湖北，悬赏 10 积分
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