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Modeling of Quality Factor and Process Parameter Optimization in Czochralski Silicon Single Crystal Growth
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网址
DOI
10.23919/ccc64809.2025.11178401 doi
其它 期刊:2025 44th Chinese Control Conference (CCC)
作者:Weichao Huang; Runzhu Li; Ruyin Wu
出版日期:2025-07-28
求助人
车车 在 2026-08-20 09:49:59 发布自陕西,悬赏 10 积分
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