Fabrication of 109.5° Micro V-Grooves Using a Two-Step Anisotropic Etching Technique

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标题	Fabrication of 109.5° Micro V-Grooves Using a Two-Step Anisotropic Etching Technique
网址	https://asmedigitalcollection.asme.org/IMECE/proceedings-pdf...
DOI	10.1115/imece1998-1269 doi
其它	期刊：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) 作者：Wen-Tien Chang Chien; Liwei Lin; Yi-Chung Lo; Chia-Ou Chang 出版日期：2022-02-11
求助人	雪豹在 2026-09-04 10:37:23 发布自江苏，悬赏 30 积分
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