Characterization and dressing effect of CMP diamond disc conditioner with ordered abrasive distribution

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标题	Characterization and dressing effect of CMP diamond disc conditioner with ordered abrasive distribution
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s00170-023-11965-2
DOI	10.1007/s00170-023-11965-2 doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Zhaozhi Guo; Songhao Yang; Zhenhui Wen; Jingyu Li; Jun Cheng 出版日期：2023-07-24
求助人	研友_LkY7BZ 在 2026-07-17 00:48:20 发布自四川，悬赏 10 积分
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