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标题
Reduced fatigue and leakage of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors by thin alumina interlayers at the top or bottom interface
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DOI
10.1088/1361-6528/acad0a doi
其它 期刊:Nanotechnology
作者:H. Alex Hsain; Young H. Lee; Suzanne Lancaster; Patrick D. Lomenzo; Bohan Xu; et al
出版日期:2022-12-20
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