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标题
Electrical characterisation of HfYO MIM-structures deposited by ALD
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2009.12.058
DOI
10.1016/j.tsf.2009.12.058 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：T. Roessler; J. Gluch; M. Albert; J.W. Bartha
出版日期：2010-06-01
求助人
九思 在 2026-07-27 16:00:28 发布自江苏，悬赏 10 积分
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