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Optimization of maskless SU-8 photolithography for fabrication of dense high-aspect-ratio pyrolytic carbon micropillar arrays |
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期刊:Micro and Nano Engineering 作者:Mohammad Ramezannezhad; Babak Rezaei; Stephan Sylvest Keller 出版日期:2025-10-04 |
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(2025-6-4)