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标题
Extraction of isotropic and anisotropic components for optical surface micro-metrology based on the two-dimensional power spectral density analysis
网址
DOI
10.1016/j.precisioneng.2024.10.001 doi
其它 期刊:Precision Engineering
作者:Jingjing Xia; Jun Yu; Siwen Lu; Chunan Xue; Yifan Zhu; et al
出版日期:2024-12-01
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