The demonstration of low-temperature (350 °C) grown carbon nano-tubes for the applications of through silicon via in 3D stacking and power-via

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标题	The demonstration of low-temperature (350 °C) grown carbon nano-tubes for the applications of through silicon via in 3D stacking and power-via
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.01273...
DOI	10.1063/5.0127386 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：H.-Y. Lin; Nilabh Basu; S.-C. Chen; M.-H. Lee; M.-H. Liao 出版日期：2022-12-07
求助人	孟志强在 2026-08-24 11:37:26 发布自广东，悬赏 10 积分
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