| 标题 |
Filling high-AR structures using pulsed nucleation layer deposition
脉冲成核层沉积填充高AR结构
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| 网址 |
求助人暂未提供
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| DOI |
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| 其它 | Thomas Omstead, Gerard Chris D'Couto, Sang-Hyeob Lee, Panya Wongsenakaum, Josh Collins and Karl Levy ，Solid State Technology, vol. 45, no. 9, Sept. 2002, pp. 51+. Gale Academic OneFile |
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