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Thermal analysis of advanced back-end-of-line structures and the impact of design parameters
先进后端结构的热分析及设计参数的影响
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生产线后端 材料科学 热导率 焦耳加热 堆栈(抽象数据类型) 电迁移 热的 互连 电阻率和电导率 电介质 复合材料 电子工程 光电子学 电气工程 计算机科学 工程类 物理 气象学 程序设计语言 计算机网络
网址
DOI
10.1109/itherm54085.2022.9899564 doi
其它 期刊:2022 21st IEEE Intersociety Conference on Thermal and Thermomechanical Phenomena in Electronic Systems (iTherm)
作者:Xinyue Chang; Herman Oprins; Melina Lofrano; Bjorn Vermeersch; Ivan Ciofi; et al
出版日期:2022-10-01
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