Optimization of Ion Beam-Assisted Deposition Process for Y2O3 Film to Enhance Plasma Resistance

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标题	Optimization of Ion Beam-Assisted Deposition Process for Y2O3 Film to Enhance Plasma Resistance 优化离子束辅助沉积Y2 O3薄膜工艺提高等离子体抵抗能力相关领域材料科学分析化学（期刊）离子束辅助沉积原子层沉积蚀刻（微加工）沉积（地质）薄膜离子束离子纳米技术化学图层（电子）色谱法沉积物生物有机化学古生物学
网址	http://dx.doi.org/10.3365/KJMM.2024.62.5.340
DOI	10.3365/KJMM.2024.62.5.340 doi
求助人	一只烊在 2025-09-16 16:36:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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