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 Simultaneous Determination of Carrier Concentration, Mobility, and Thickness of SiC Homoepilayers by Infrared Reflectance Spectroscopy 红外反射光谱法同时测定SiC同型外延层的载流子浓度、迁移率和厚度
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shingo Oishi; Yasuto Hijikata; Hiroyuki Yaguchi; Sadafumi Yoshida 出版日期：2006-11-17 |
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