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标题
Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review
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溅射沉积 薄膜 材料科学 制作 沉积(地质) 溅射 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 纳米技术 适应性 工程物理 电子工程 工艺工程 工程类 生物 替代医学 古生物学 病理 沉积物 医学 生态学
网址
DOI
10.1007/s11837-022-05294-0 doi
其它 期刊:JOM
作者:Jie Li; Guang-Kun Ren; Jiahui Chen; X. Chen; Wenjie Wu; et al
出版日期:2022-04-21
求助人
迅速的婷冉 在 2025-11-11 14:21:26 发布自四川,悬赏 10 积分
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