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Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review

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作者
Jie Li,Guang‐Kun Ren,Jiahui Chen,X. Chen,Wenjie Wu,Yinke Liu,Xiaohong Chen,Jiangfeng Song,Yuanhua Lin,Yan Shi
出处
期刊：JOM [Springer Science+Business Media]
日期：2022-04-21 卷期号：74 (8): 3069-3081 被引量：47
标识
DOI：10.1007/s11837-022-05294-0
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