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High-performance a-ITZO TFTs with high bias stability enabled by self-aligned passivation using a-GaOx 利用a-GaOx自对准钝化实现具有高偏置稳定性的高性能a-ITZO TFT
相关领域
钝化
材料科学
薄膜晶体管
光电子学
氧化物薄膜晶体管
氧化物
无定形固体
阈值电压
晶体管
纳米技术
图层(电子)
电气工程
电压
化学
冶金
结晶学
工程类
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