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标题
飞秒激光脉冲序列烧蚀硅的孔型质量研究
相关领域
计算机科学
网址
https://doi.org/10.3788/gzxb20215006.0650112
DOI
10.3788/gzxb20215006.0650112 doi
其它 期刊：ACTA PHOTONICA SINICA
作者：陈天琦 CHEN Tianqi; 杨坚 YANG Jian; 贾天卿 JIA Tianqing
出版日期：2021-01-01
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