Using resonant soft x-ray scattering to image patterns on undeveloped resists

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标题	Using resonant soft x-ray scattering to image patterns on undeveloped resists 使用共振软x射线散射在未显影抗蚀剂上成像图案相关领域抵抗散射材料科学光学物理纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2502769
DOI	10.1117/12.2502769 doi
其它	期刊：作者：Ronald Pandolfi; Guillaume Freychet; Isvar A. Cordova; Terry McAfee; Chris Anderson; et al 出版日期：2018-10-09
求助人	Guoomeng 在 2025-10-27 09:36:26 发布自广西，悬赏 20 积分
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