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标题
Amidoxime-Containing Zr and Hf Atomic Layer Deposition Precursors for Metal Oxide Thin Films
用于金属氧化物薄膜的含偕胺肟Zr和Hf原子层沉积前驱体
相关领域
同音 热重分析 化学 环戊二烯基络合物 热稳定性 原子层沉积 锆 金属 单体 蒸发 无机化学 结晶学 逐层 图层（电子） 有机化学 催化作用 聚合物 物理 热力学
网址
https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.3c03455
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acs.inorgchem.3c03455 doi
其它 期刊：Inorganic Chemistry
作者：Ga Yeon Lee; Seunghun Lee; In Ho Jo; Chan‐Mi Cho; Svetlana Shostak; et al
出版日期：2023-12-18
求助人
Zyj 在 2025-08-26 15:30:56 发布自福建，悬赏 10 积分
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