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[高分] Optical Emission Analysis of a Si(CH3)4-Argon Radio Frequency Plasma for SiC Films Deposition
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氩 沉积（地质） 等离子体 材料科学 无线电频率 分析化学（期刊） 原子物理学 化学 物理 核物理学 环境化学 电信 沉积物 计算机科学 生物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1051/jphyscol:1995572
DOI
10.1051/jphyscol:1995572 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：M. Andrieux; J. M. Badie; C. Bisch; M. Ducarroir; F. Teyssandier
出版日期：1995-06-01
求助人
JJJJJJJJJ 在 2025-11-01 11:41:30 发布自海南，悬赏 50 积分
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