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A two directional electrostatic comb-drive X–Y micro-stage for MOEMS applications 相关领域
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Karolina Laszczyk; Sylwester Bargiel; Christophe Gorecki; Jerzy Krężel; P. Dziuban; et al 出版日期:2010-07-02 |
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