Line edge roughness analysis and simulation at advanced litho process

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标题	Line edge roughness analysis and simulation at advanced litho process 相关领域表面光洁度晶体管临界尺寸表面粗糙度材料科学 GSM演进的增强数据速率平版印刷术电子工程计算机科学光学电压机械工程光电子学工程类物理电气工程人工智能复合材料
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iwaps60466.2023.10366102
DOI	10.1109/iwaps60466.2023.10366102 doi
求助人	追光者在 2025-11-04 12:42:33 发布自浙江，悬赏 10 积分
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