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 Investigation of a Surface Layer Formed on Silica Glass as a Result of Mechanical-Chemical and Ionic Polishing 机械-化学和离子抛光在二氧化硅玻璃上形成的表面层的研究
相关领域
抛光
材料科学
化学机械平面化
图层（电子）
离子键合
复合材料
表层
石英玻璃
曲面（拓扑）
化学工程
化学
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几何学
工程类
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期刊：Optics and Spectroscopy 作者：В. М. Золотарев 出版日期：2022-11-01 |
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