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Track height reduction for standard-cell in below 5nm node: how low can you go? 5nm以下节点标准单元的轨道高度降低:你能降到多低?
相关领域
节点(物理)
磁道(磁盘驱动器)
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几何学
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期刊: 作者:S. M. Yasser Sherazi; Jung Kyu Chae; Peter Debacker; L. Matti; Praveen Raghavan; et al 出版日期:2018-03-20 |
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