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标题
Ellipsometric critical dimension metrology employing mid-infrared wavelengths for high-aspect-ratio channel hole module etch processes
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2583786
DOI
10.1117/12.2583786 doi
其它 期刊：Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
作者：George A. Antonelli; Nick Keller; Troy Ribaudo; Franklin J. Wong; Wenmei Ming; et al
出版日期：2021-02-22
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研友_nqBP4Z 在 2026-10-19 18:37:00 发布自江苏，悬赏 20 积分
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