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 Unexpected Realization of N-Polar AlN Films on Si-Face 4H–SiC Substrates Using RF Sputtering and High-Temperature Annealing 相关领域
材料科学
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期刊：Crystal Growth & Design 作者：Ruijie Zhang; Yanan Guo; Tingsong Cai; Zhibin Liu; Naixin Liu; et al 出版日期：2023-03-22 |
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(2025-6-4)
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