| 标题 |
Spin-on hard mask with dual-BARC property for 50-nm devices |
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| DOI |
10.1117/12.656075
doi
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| 其它 |
期刊:SPIE Proceedings 作者:Jung Hwan Hah; Yun Sook Chae; Yun-Kyeong Jang; Manhyoung Ryoo; Sang-Jun Choi; et al 出版日期:2006-05-17 |
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(2025-6-4)