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Effects of sputtering power and air/Ar ratio on the structural, electrical, and optical properties of Zr-N-O thin films deposited by air-based reactive sputtering
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092583882...
DOI
10.1016/j.jallcom.2025.184562 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Xiang-Yang Li; Fu-Hsing Lu
出版日期：2025-10-22
求助人
fu 在 2026-10-08 10:59:00 发布自广东，悬赏 10 积分
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    fu fu Lv12 求助人 关闭了本次求助。

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