Printing verification of the improved performance of low-n mask with sub-resolution grating (SRG) in high-NA EUVL

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标题	Printing verification of the improved performance of low-n mask with sub-resolution grating (SRG) in high-NA EUVL
网址	https://doi.org/10.1117/12.3091543
DOI	10.1117/12.3091543 doi
其它	期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXIX 作者：Inhwan Lee; Joern-Holger Franke; Guillaume Libeert; Nick Pellens; Vicky Philipsen; et al 出版日期：2026-04-10
求助人	Firsterchao 在 2026-11-05 22:37:06 发布自河南，悬赏 20 积分
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