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 Hydrophilicity-Tuned Iodine-Containing Quasi-Alternating Copolymers for Extreme Ultraviolet Lithography 相关领域
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期刊：ACS Applied Polymer Materials 作者：Gyuchan Wy; Yejin Ku; Hyo-Eun Choi; Gyuyeong Lee; Minseung Kim; et al 出版日期：2026-05-10 |
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