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Synthesis of AlOxNy thin films using a two-step PE-ALD process
两步法PE-ALD合成AlOxNy薄膜
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网址
https://pubs.aip.org/aip/adv/article-pdf/doi/10.1063/5.01544...
AI链接 aip.org aip.org cnrs.hal.science doaj.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0154468 doi
其它 期刊：AIP Advances
作者：Mohammed Zeghouane; Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha; Sarah Boubenia; F. Bassani; Gauthier Lefèvre; et al
出版日期：2023-08-01
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tabblk 在 2025-12-05 09:47:43 发布自福建，悬赏 10 积分
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