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 Atomic-Layer-Deposition of SiO2 with Tris(Dimethylamino)Silane (TDMAS) and Ozone Investigated by Infrared Absorption Spectroscopy 相关领域
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期刊：ECS Transactions 作者：Fumihiko Hirose; Yuta Kinoshita; Suguru Shibuya; Hironobu Miya; Kazuhiro Hirahara; et al 出版日期：2008-05-12 |
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