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Optimizing New Generation of ALD Precursors and Annealing Conditions for Ferroelectric HZO for Enhanced Memory Performance 优化新一代ALD前驱体和铁电HZO退火条件以提高存储性能
相关领域
材料科学
铁电性
退火(玻璃)
光电子学
纳米技术
原子层沉积
电子工程
非易失性存储器
电介质
随机存取存储器
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期刊: 作者:Alison E. Viegas; Ayse Sünbül; Konstantinos E. Falidas; Kati Kuhnel; David Lehninger; et al 出版日期:2025-07-13 |
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