Characterization of IrOx sputtering for IrO2 and IrO2/Pt bottom-electrode piezoelectric micro-electro-mechanical systems applications

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标题	Characterization of IrOx sputtering for IrO2 and IrO2/Pt bottom-electrode piezoelectric micro-electro-mechanical systems applications
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI	10.1016/j.tsf.2017.07.024 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Daniel M. Potrepka; Manuel Rivas; Haibo Yu; Ronald G. Polcawich; Mark Aindow; Glen R. Fox 出版日期：2017-07-12
求助人	苹果映菱在 2026-03-05 21:46:17 发布自福建，悬赏 10 积分
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