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标题
Wafer-scale heterogeneous integration of thin film lithium niobate on silicon-nitride photonic integrated circuits with low loss bonding interfaces
相关领域
铌酸锂 材料科学 晶片键合 光子集成电路 光电子学 光子学 薄脆饼 波导管 谐振器 氮化硅 集成电路 硅光子学 硅
网址
DOI
10.1364/oe.486944 doi
其它 期刊:Optics Express
作者:Siddhartha Ghosh; Siva Yegnanarayanan; Dave Kharas; Matthew Ricci; Jason J. Plant; et al
出版日期:2023-03-08
求助人
JZCT 在 2026-05-14 14:20:59 发布自山东,悬赏 10 积分
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