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 Argon plasma inductively coupled plasma reactive ion etching study for smooth sidewall thin film lithium niobate waveguide application 相关领域
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期刊：Optical Materials 作者：Gwenn Ulliac; Venancio Calero; Abdoulaye Ndao; F.I. Baida; M.-P. Bernal 出版日期：2016-01-06 |
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