MoN-Cu Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering with Single Alloying Target

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标题	[高分] MoN-Cu Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering with Single Alloying Target
网址	http://dx.doi.org/10.5695/JKISE.2016.49.4.368
DOI	10.5695/JKISE.2016.49.4.368 doi
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