Analysis of Etch Profiles on C-Plane Wafers in Wet Etching of Sapphire Based on Undercutting Rate Distributions in Mixture of H 2 SO 4 and H 3 PO 4 at 236 °C

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标题	Analysis of Etch Profiles on C-Plane Wafers in Wet Etching of Sapphire Based on Undercutting Rate Distributions in Mixture of H 2 SO 4 and H 3 PO 4 at 236 °C
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2162-8777/ac5c82
DOI	10.1149/2162-8777/ac5c82 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Guorong Wu; Yan Xing; Ye Chen; Zai-Fa Zhou 出版日期：2022-03-01
求助人	MiFkuF 在 2026-07-07 02:51:23 发布自罗马尼亚，悬赏 10 积分
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